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| 제목 | Mask Aligner M-150 | ||
|---|---|---|---|
| 작성자 | 관리자 | 등록일 | 2016-07-21 |
| 첨부파일 |
Prowin_M150.pdf(565,506KB, Download : 7717) |
조회 | 2330 |
| The M-150 is designed for 6” wafers. It has three contacts modes, hard contact, soft contact, and vacuum contact. The aligner has a UV source with 350 watt. The optical power gives 25 mW/cm2 at 365 nm. It can be used incommercial semiconductor manufacturing or university laboratory settings, wafer fabrication facilities,and MEMS. | |||
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