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Wet Station System
프로윈의 Wet Station System은 콤팩트한 설계 및 디자인으로 반도체 웨이퍼, 글래스 또는 세라믹 기판과 같은 시료에 화학약품을 이용한 반도체 식각 공정, 현상공정, 박리공정, 세정공정을 응용하는 장비이며 주문자의 요구 사항에 따라 제작 공급합니다.
Item | Specifications |
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Main Body | Ivory Press PVC 8t |
Frame | SS401/SUS304 40×40, 1.4t |
Bath Material | Quartz, PTFE, LDPP.PVC, SUS |
Control System | Manual, Auto |
Dimension | User Made |
Rinse Bath | DI Supply, DI Spray, N2 Bubble, QDR System |
Option Microscope | Heating System, Agitation System, Pumping System, Filter System, U/S &Mega Sonic System, Chemical Supply System, Door System |